Spin kaplama tekniği ile üretilen ince filmlerin organik buhar duyarlılığı

Abstract

Spin kaplama teknolojisi kullanılarak ince film kaplama tekniğinin esaslarının ele alındığı bu çalışmada, 2 - ((R) -2-hydroxy-3- (((((1R, 2S) -2-hydroxy-2,3-dihydro-1H-inden-1-yl) amino) propyl) isoindoline- 1,3-dion (SB-68) organik maddesi ince film maddesi olarak seçilmiştir. SB-68 maddesi kuartz kristal yüzey üzerine başarılı bir şekilde kaplanmıştır. Daha sonra, SB-68 ince film sensörü sekiz farklı zararlı organik buhara maruz bırakılmıştır. Deneysel çalışmalarda aseton, kloroform, benzen, tolüen, etilalkol, metanol, ksilen ve diklorometan organik buharları kullanılmıştır. SB-68 ince film sensörünün bu zararlı organik buharlara karşı hassasiyeti Kuartz Kristal Mikrobalans (KKM) sistemi kullanılarak araştırılmış ve elde edilen veriler yorumlanmıştır.

In this study, where we discussed the principles of thin film coating technique using spin coating technology, 2 - ((R) -2-hydroxy-3- (((((1R, 2S) -2-hydroxy-2,3-dihydro-1H-inden-1-yl) amino) propyl) isoindoline- 1,3-dion (SB-68) organic materials was selected as sensor materials. SB-68 materials were deposited onto quartz crystal successfully. Then, the SB-68 thin film sensor was exposed to eight different harmful organic vapors. The organic vapors used in the experimental studies are acetone, chloroform, benzene, toluene, ethyl alcohol, methanol, xylene and dichloromethane. The sensitivity of SB-68 thin film sensor against to these harmful gases was investigated using Quartz Crystal Microbalance (QCM) technique and the obtained data were interpreted.