Farklı yüzeyler üzerine spray-pyrolysıs yöntemi ile TiO2 ince filmlerinin büyütülmesi

Abstract

Bu çalışmada farklı alttaş malzemelerin üzerine spray pyrolysis metodu kullanılarak değişik TiCl4 konsantrasyonlarında TiO2 ince filmler elde edilmiştir. Daha sonra bu malzemeler üzerinde tavlama işleminin etkisini görmek için numunelerden bazılarına 500 ºC'deki fırın içerisinde hava ortamında 2 saat tavlama işlemi uygulanmıştır. Elde edilen numunelerin XRD, SEM ,EDX ve UV analizlerine bakılarak uygulanan çözeltinin ve tavlama işleminin oluşan TiO2 ince filmlerde etkili olduğu anlaşılmıştır. Elde edilen TiO2 ince filmlerinin fiziksel özelliklerinin çözelti konsantrasyonuna ve tavlama işlemine bağlı olarak bazı değişiklikler gösterdiği kaydedilmiştir.

In this study, TiO2 thin films were obtained in different TiCl4 substrate concentrations on different materials by using spray pyrolysis method. Later, some of these samples were applied annealing process in an oven at 500 ºC for two hours to see the effect of air annealing process at these materials. It was understood that the solution and the annealing process were effective at the TiO2 thin films by examining the XRD, SEM, EDX and UV analysis of the obtained samples. It was observed that physical properties of obtained TiO2 thin films have changed depending on the solution concentration and the annealing process.