CuO-Au film sisteminin optik özelliklerinin elipsometrik ve spektrofotometrik yöntemlerle incelenmesi

Abstract

CuO-Au FİLM SİSTEMİNİN OPTİK ÖZELLİKLERİNİN ELİPSOMETRİK VE SPEKTROFOTOMETRİK YÖNTEMLERLE İNCELENMESİ ÖZET -5 Cam taşıyıcılar üzerine 1x10 torrluk vakumda ısısal buharlaştırma ile yaklaşık 1500A ve 2000 A kalınlığında altın ve aynı yöntemle bunlar üzerine değişik kalınlıklarda CuO filmler kaplanarak iki katlı film sistemleri hazırlandı. Ayrıca aynı CuO filmler aynı anda çıplak cam taşıyıcılar üzerine kaplanarak spektrofotometre yardımıyla geçirgenlik ölçüleri yapıldı. Spektrumun görünür bölgesinde yer alan değişik dalgaboyları ve 70° geliş açısı altında ı> ve A elipsometrik parametreleri örneğin yapımından hemen sonra ölçüldü. Daha sonra örnekler 150°C lik bir fırında bir saat bekletilerek ölçüler tekrarlandı. Dene! elipsometrik parametreler kullanılarak al tın taşıyıcı ve Cuo-Au iki katlı filmlere eşdeğer tek katlı filmlerin n, k optik sabitleri ve R yansıtma katsayıları hesaplandı. Sonuçlar grafiklerle gösterildi.

INVESTIGATION OF OPTICAL PROPERTIES OF CuO-Au FILM SYSTEM BY ELLIPSOMETRIC AND SPECTROPHOTOMETRIC METHODS SUMMARY Gold film samples with a thicknesses about 1500 A and 2000 A have been condensed on glass substrates by the method of thermal eva- -5 poration in a vacuum of the order of 1x10 torrs and then CuO films of different thicknesses have been covered on the gold layers by the same method, thus two layered film systems have been prepared. In addition, the same CuO films have been covered on the bare glass substrates at the same time and transmission measurements have been made by a spectrophotometer. Immediately after the preparation of the sample, ellipsometric parameters^ and A have been measured under the angle of incidence ^=70° for various wavelengths in the visible spec trum region. Then, the measurements have been repeated, annealing the samples in a furnace of 150°C for an hour. The same measurements have been made on the samples annealed and aged for fifteen. days. By using the experimental ellipsometric parameters, the optical constants, n,k and the reflection coefficients R of the gold substrates and the single layer systems, which are equivalent to the two layered films.ef CuO-Au, have been calculated. The results have been shown in the graphics. Ill