Al2O3 ve SiO2 içine aşılanmış olan Eu ve Yb nin derinlik analizleri

Abstract

Al203 VE Si02 İÇİNE AŞILANMIŞ OLAN Eu ve Yb' NİN DERİNLİK ANALİZLERİ ÖZET Bu çalışmanın amacı; nadir toprak elementleri olan Eu ve Yb nin AI2O3 (Safir) ve SİO2 (Silisyum) içine giriciliğini incelemektir. Aşılama işlemi 200 keV lik bir Whickham aşılayıcı ile Sussex Üniversitesinde (İngiltere) gerçekleştirilmiştir. Akım yoğunluğu 8-16 uA/cm2 ve doz' da 1x1015-1x1016 iyon/cm2 mertebesindedir. RBS analizleride 3 MeV lik bir hızlandırıcıda yapılmıştır. Bu işlemlerden sonra, AI2O3 ve Si02 içine aşılanmış olan Eu ve Yb nin derinlik analizleri yüzey enerji ve ortalama enerji yaklaşımları için yazılan bir bilgisayar programı ile hesaplanmıştır. Bu programdan elde edilen sonuçlarla Yükseklik- Derinlik grafikleri çizilmiştir. Daha sonra bu sonuçların, TRIM bilgisayar programından elde ettiğimiz sonuçlar ile karşılaştırılması yapılmış ve sonuçları tartışılmıştır. vn

DEPTH ANALYSES OF Eu AND Yb İMPLANTED İN Al203 AND SİO ABSTRACT The purpose of this study is to examine the implantation of Eu and Yb that are rare earth elements to the Al203 and Si02. The implantation process has been done by using a Whickham implanter with 200 keV in Sussex University (England). The current density is 8- 16uA/cm2 and intensity (~dose ) is 1x1 015- 1x1 016 ion/cm2. RBS analysis have been done using accelarator with 3 MeV. After these processes, the depth analysis of Eu and Yb implanted into AI2O3, SİO2 were calculated by using the computure programme for which is written the surface energy and average energy aproximation. Height- depth grafics are drawn by using this program and results that are given above. Therefore the results are compared with the results which are taken from TRIM computer programme and all results are discussed. Vffl