DC reaktif magnetron için anahtarlamalı güç kaynağı tasarımı ve ZnO yapıların üretimi

Abstract

Bu çalışmada elektronik malzeme üretiminde kullanılan DC reaktif magnetron sıçratma (DCRMS) sistemine enerji sağlayacak anahtarlamalı mod güç kaynağı tasarımı ve üretimi gerçekleştirildi. Bu tasarımda, DC-DC çevirici için anahtarlamalı mod tekniği kullanıldı. Üretilen güç kaynağında SMPS (Switch Mod Power Supply - Anahtarlamalı Mod Güç Kaynağı) teknolojisinden dolayı maksimum güç, minimum güç kaybı ile sağlanmaktadır. DC magnetron sistemi için akım-gerilim koruması ve yalıtım sağlanmıştır. Tasarım ve üretimi gerçekleştirilen güç kaynağı, magnetron sisteminde kullanılarak ZnO ince film üretimi ile test edildi. Üretilen ZnO ince filmlerin optik karekterizasyonu fotolümünesans (PL) tekniği kullanılarak yapıldı.

In this work switch mode power supply designed and constructed which will be used for DC Reactive Magnetron Sputter (DCRMS) as a power supply. DCRMS has application in productions of electronic materials. In this design switch mode method used for DC-DC conversion. The constructed power supply provided maximum power with minimum power loss owing to SMPS (Switch Mode Power Supply) technology. Designed DC magnetron system is provided current-voltage protection and isolation. The power supply which is performed design and produced was tested during the production of ZnO thin film production within a magnetron system. Deposited ZnO thin films optical characterized and the formation of ZnO crystal formation proved by photoluminescence (PL).