Cfubms tekniği ile kaplanmış TiAlN/TiCrN çok tabakalı filmlerin yapısal, mekanik ve tribolojik özelliklerinin incelenmesi
- Global styles
- Apa
- Bibtex
- Chicago Fullnote
- Help
Abstract
TiAlN ve TiCrN kaplamalar birçok endüstriyel uygulamalarda yaygın bir şekilde kullanılmaktadır. Bu çalışmada, kapalı alanda dengesiz manyetik sıçratma yöntemi kullanılarak, TiAlN/ TiCrN ince filmler (8GPa) sertlik değerine sahip M2 takım çeliklerinin üzerine kaplanmıştır. Kaplamanın yapısal özellikleri SEM, XRD ve EDS kullanılarak analiz edilmiştir. Ayrıca, mekanik ve tribolojik özellikleri mikrosertlik test cihazı ve farklı ortamlarda (nemli hava, saf su ve yağ) pin-on-disk ile incelenmiştir. İki farklı kaplama şartında yapılan kaplama sonrası mikrosertlik ölçümlerinde R1 grubundaki kaplama sertlik değeri 30 GPa, R2 grubunda ise 20 GPa olarak ölçülmüştür. Kaplama parametrelerinde, iki farklı frekans ve periyot değeri kullanılarak kaplamaya olan etkisi incelenmiştir. Deney sonuçlarına göre TiAlN/TiCrN çok tabakalı ince filmlerde M2 takım çeliğinin tribolojik özelliklerini önemli ölçüde iyileştirdiği gözlemlenmiştir.Anahtar Kelimeler: TiAlN, TiCrN, CFUBMS TiAlN and TiCrN are being used widely in many industrial applications. In this work, TiAlN/TiCrN multilayer films deposited onto M2 high-speed steels were grown by closed field-unbalanced magnetron sputtering (CFUBMS). The structural properties of coatings have been analyzed by scanning electron microscopy (SEM), X-ray diffraction (XRD) and energy dispersive spectrometry (EDS). Besides, the mechanical and tribological properties were determined by using microhardness tester and pin-on-disc test, respectively. After deposition process, hardness values of coatings were measured 30 GPa for R1 group and 20 GPa for R2 group with regard to two different coating conditions. In coating parameters, by using two different frequences and duty time values were determined the effect of pulse parameters to the coating. Experimental results showed that TiAlN/TiCrN multilayer films noticeably improved tribological properties of cutting tools.Keywords: TiAlN, TiCrN, CFUBMS
Collections