Ekran baskı yöntemi ile metal oksit gaz sensörü fabrikasyonu

Abstract

Yarıiletken esaslı oksit malzemeler, gaz sensörlerinin imalatı için algılama malzemeleri olarak uzun yıllar kullanılmıştır. Yarıiletken gaz sensörlerinin yüzeyine getirilen yüklerin yoğunluğu çevredeki atmosferin bileşimine duyarlıdır. Bu nedenle, bu malzemeler farklı gazların tespiti için kullanılmıştır. SnO2, gaz sensörlerinin imalatı için temel malzeme olarak kullanılan en önemli metal oksit malzemelerinden biridir. Ayrıca La2O3,Fe2O3 gibi metal oksit yarıiletken malzemelerin de gaz sensör sistemine olan etkileri araştırılmıştır. Bu çalışmada yer alan sensörler oldukça basit ve ekonomik olan ve hiçbir teknolojik cihaz ve altyapı gerektirmeyen ekran baskı yöntemi ile elde edilmiştir. Kalın filmi kullanan teknoloji, alt tabakanın bir veya her iki tarafı üzerinde çok katmanlar üretebilir. Bunun, düşük maliyet, yüksek hassasiyet, kimyasal ve mekanik kararlılık gibi pek çok avantajı vardır. Bu nedenle, bu teknoloji kullanılarak gaz ortamında iyi algılama özelliklerine sahip düşük maliyetli SnO2, La2O3 katkılı SnO2 ve Fe2O3 katkılı SnO2 metal oksit gaz sensörleri üreterek yapısal, morfolojik ve sensör özellikleri incelendi.

Semiconductor based oxide materials is used for many years as sensing requisites for the manufacture of gas sensors. Sensor of density of the loads brought to the area of the semiconductor gas sensors is sensitive to the composition of the surrounding atmosphere. For this reason, these requisites is used for the detection of different gases. SnO2 is one of the most significant metal oxide requisites used as the basic material for the production of gas sensors. Besides, the effects of metal oxide semiconducting requisites such as La2O3 and Fe2O3 on the gas sensor system were searched. The sensors included in this study were obtained by simple and economical screen printing method which does not require any technological device and infrastructure. The technology that uses thick film can produce multiple layers on one or both sides of the bottom layer. It has many advantages such as low expenditure, high precision, chemical and mechanical determination. For this reason, low cost SnO2, La2O3 doped SnO2 and Fe2O3 doped SnO2 metal oxide gas sensors with good sensing properties in the gas environment were obtained using this technology and structural, morphological and sensor properties were investigated.