Elektron mikrograflarının fotogrametrik yöntemlerle üç boyutlu değerlendirilmesi

Abstract

ÖZET Elektron mikroskopları mühendislik çalışmaları ve çeşitli bilimsel araştırmalar için büyük olanaklar tanır. Çoğu SEM (Tarayıcı Elektrom Mikroskobu) kullanıcısının amacı, mikroskobik objelerin özellikleri veya büyüklükleri ile şekillerini incelemektir. Bu aletler, metereoloji, mikrobiyoloji, mikroelektronik ve kriminoloji vb. gibi alanlarda hemen hemen zorunlu inceleme aleti olarak kullanılır. Fotogrametriciler ise, makroskobik problemlerin mikroskobik kısımlarını çözerler. Bu çalışmada, bir nesnenin farklı eğim açılarında alınan görüntüleri olan iki mikrografından üç boyutlu yapısının oluşturulması amaçlanmıştır. İncelemeler KTÜ Makine Mühendisliği Bölümünün Malzeme Bilimleri Labaratuvarında bulunan JSM-6400 SEM ile gerçekleştirilmiştir. Çalışmaların ilk aşamasında numunenin farklı eğim açılarında iki görüntüsü oluşturulduktan sonra fotoğrafları çekilerek, üç boyutlu objelerin perspektif görünüşleri olan mikrograflar elde edildi. İkinci aşama olarak, bu mikrograflar üzerinde, şekli yeniden geometrik ve fiziksel olarak ortaya çıkarmak için mono komparatorda bir takım ölçüler yapıldıktan sonra A. Boyde (1970) ve N. K. Tovey (1973)'ın ortaya attığı eşitlikler kullanıldı. Çalışma sonucunda, SEM' den alınan mikrograflar sadece iki boyutlu bilgi vermesine rağmen, fotogrametrik eşitlikler kullanılarak üç boyutlu bilgi elde edilebileceği gözlenmiştir. Anahtar Kelimeler : Tarayıcı Elektron Mikroskobu, CRT, Mikrograf, Fotogrametri

SUMMARY Three Dimensional Evaluation of Electron Micrographs with Photogrammetric Methods Electron microscopes provide great opportunities for engineering studies and various scientific investigations. The aim of the most SEM (Scanning Electron Microscope) users is to study the characteristics and the sizes of microscopic objects. Electron microscopes are used in meteorology, microbiology, microelectronics and criminology as essential instruments. On the other hand, photogrammetrists use them to explore the microscopic aspects of macroscopic problems. This study proposed to form three dimensional structure of an object by means of its two micrographs taken by different tilt angles. The experiments have been carried out with JSM-6400 SEM located in Material Science Laboratory of Mechanical Engineering Department of Karadeniz Technical Univercity. In the first stage of the study, micrographs were taken after two images of the object with two different tilt angles were obtained. At the second stage of the study, some measurements on micrographs were performed with a monocomparator to form the object geometrically and physically. The measurements were then used in the equations given by A. Boyde (1970) and N.K. Tovey (1973). The results showed that whereas the micrographs taken by SEM represent two dimensional information about a microscopic object, they can be effectively used to obtain three dimensional information by using photogrammetric techniques. Key Words: Scanning Electron Microscopy, CRT, Micrograph, Photogrammetry VI