Ark-PVD yöntemiyle üretilen niobyumnitrür ve titanyumnitrür katmanların karşılıklı olarak araştırılması

Abstract

ARK-PVD YÖNTEMİYLE ÜRETİLEN NİOBYUMNİTRÜR VE TİTANYUMNİTRÜR KATMANLARIN KARŞILIKLI OLARAK ARAŞTIRILMASI Ersoy ERİŞİR Anahtar Kelimeler: Fiziksel Buhar Depozisyonu, PVD, TİN kaplama, NbN kaplama, Vakum Ark Teknolojisi Özet : Fiziksel buhar depozisyonu (PVD) kaplamalar birçok uygulamada kullanılmaktadır. Gelişen teknolojinin sonucu oluşan yeni uygulamalar nedeniyle yüksek tokluk ve makropartikülsüz kaplama gibi yeni istekler gözönünde tutulmalıdır. Bu istekler sürekli olarak yeni kaplamaların gelişimini teşvik etmektedir. Bu tezde, öncelikli olarak Ark-PVD tekniği hakkında teorik bilgiler verilmiştir. Prosesin temeli olan plazma ve ark oluşumu geniş olarak açıklanmıştır. NbN kaplamaların performanslarının değerlendirilebilmesi için buhar fazından üretilen kaplamalar arasında en yaygını olan TİN baz olarak alınmıştır. Kaplamalar literatürler doğrultusunda mikroyapıları ve özellikleri açısından karşılaştırılmıştır. Bölümde varolan Ark-PVD sisteminde gerçekleştirilen modifikasyon ve bu değişimin etkisi titanyum nitrür tabakasında gösterilmiştir. ıı

RECIPROCAL RESEARCH OF NIOBIUMNITRIDE AND TITANIUMNITRIDE FILMS PRODUCED BY ARC-PVD METHOD Ersoy ERİŞİR Keywords : Physical Vapor Deposition, PVD, TiN coating, NbN coating, Vacuum Arc Technology Abstract : Physical vapor deposition (PVD) coatings are used in several applications. Due to new applications, resulting from the developing technology, new demands, need to be considered, e.g. high toughness and macroparticle-free coatings. These demands continually promote the development of the new coatings. In this thesis, first theoretical information is given on Arc-PVD coatings. Plasma and arc formation, that constitute the basis of process, are explained in detail. Performance of NbN films is checked against those of TiN films which are more prevalent among those produced by PVD. Coatings are compared with respect to their microstructures and their properties given in the literatures. Modification made on the existing Arc-PVD system in the Metallurgical and Materials Engineering Department has been explained and the effects of this change on TiN coatings are demonstrated. in «*w^»£sy inr-i4«iT»^!W