Ark-FBB (ARC-PVD) tekniği ile titanyum nitrür (TiN) kaplanmış bakır yüzeylerin elektriksel özelliklerinin incelenmesi

Abstract

ARK FİZİKSEL BUHAR BİRİKTİRME TEKNİĞİ İLE TİTANYUM NİTRÜR KAPLANMIŞ BAKIR YÜZEYLERİN ELEKTRİKSEL ÖZELLİKLERİNİN İNCELENMESİ Anahtar Kelimeler: Ark-FBB, Özdirenç, Dört Probe Yöntemi, İnce Film, Titanyum Nitür Özet: İnce film kaplamaların günümüzde teknolojik ve endüstriyel açıdan önemi bilinmektedir. Metalik malzemelerle elde edilemeyen bazı mekanik ve elektriksel özellikler. ince film kaplamalarla elde edilebilir. înce film kaplamaların üretimi birçok yöntemle gerçekleştirilebilirken, fiziksel buhar biriktirme yöntemleri bu yöntemler arasında önemli bir yere sahiptir. Kendi arasında çeşitlenen bu yöntemin bir önemli kolu da ark-fıziksel buhar biriktirmedir. Ark-FBB ile halen çok sayıda kaplama üretilmektedir. Oldukça geniş bir kullanım alanına sahip olan ark-FBB metallerin fiziksel ve metalurjik özelliklerine yaptığı katkılardan dolayı metaller üzerine yoğunlaşmıştır. Bu teknikle ince film büyütme ve metallerin fiziksel özelliklerine istenilen yönde katkılarda bulunulabilir. Ark-FBB tekniği ile üretilen birçok endüstriyel kaplama vardır. Bunlar. TİN, TiC, CrN. (Ti.Al)N. benzeri kaplamalardır. Bu kaplamalardan iki tanesinin ticari üretimi çok yaygındır. Bunlar TİN ve CrN kaplamalardır. Bu çalışmada Ark-FBB yöntemiyle bakır üzerine farklı kalınlıklarda titanyum nitrür (TİN) kaplanmış ve numunelerin özdirençleri incelenmiştir. ıı

ANALYSING OF ELECTRICAL PROPERTIES OF TITANIUM NITRIDE FILMS DEPOSITED BY ARC PHYSICAL VAPOUR DEPOSITION TECHNIQUE ON COPPER SUBSTRATES Keywords: Arc-PVD, Resistiviy, Four Probe Method, Thin Film, Titanium Nitride Abstract: It is well known that some mechanical and electrical properties can be improved by thinfilm coatings. There are many production methods of coatings, such as vapour deposition processes which have an importance technologically and industrially. And also, arc physical vapour deposition process (arc-PVD) is one important and available part of this process. There are many coating productions by arc-PVD such as nitride coatings. When coating systems are focused, many coating types can be observed, as multilayer coatings systems. In this study, single layer copper titanium nitrade (CuTiN) coatings are deposited by arc-PVD.and electrical properties of CuTi thinfilm are examined.