Saydam-iletken metal oksit filmlerin elde edilmesi ve fiziksel özelliklerinin incelenmesi

Abstract

ÖZET Bu çalışmada, püskürtme yoluyla pirohidroliz yöntemi kullanılarak saf ve katkılı kalay oksit < SnOa ) filmlerin elde edilmesi ve elde edilen bu filmlerin özelliklerinin incelenmesi amaçlanmıştır. Cam taşıyıcılar üzerine kaplanan saf ve katkılı SnOa filmlerin optik geçirgenlik eğrileri elde edilmiş ve bu eğrilerin maksimum ve minimum noktalarından geçecek şekilde çizilen zarf eğrilerinden yararlanılarak, filmin kalınlığı, kırılma indisi ve sön dürme indisi hesaplanmıştır. Çalışmada elde edilen saf SnOa filmlerin özdirençlerinin kalınlığa bağlı değişimi ve yaklaşık aynı d kalınlığında katkılı SnOa filmlerde özdirencin katkı miktarına bağlı değişimi incelenmiştir. Ayrıca, saf ve katkılı SnOa filmlerin k söndürme indisinin dalga boyuna göre değişimi de incelenmiştir.

SUMMARY In this work, it is aimed to obtain pure and doped tin oxide (SnOa) films using the method of pyrohydrolysis by spraying and investigate their properties. Having got the optical transmi ttence curves of both pure and doped SnOj films coated on glass substrate and making use of the enveloping curves drawn to pass through the maximum and minimum points, the thickness of the film and the refractive and extinction indices have been computed. The dependence of the resistivity of pure SnOa films obtained in ?? this work on thickness and the variation of resist. i vity of doped Sn02 films having almost the same thickness d, with the amount of doping have been examined. Besides, the variation of the extinction index k of SnO- film:-'. both- pure and doped, with wavelength has been sea rched.