Yalıtkan üstü silikon tek kipli optik dalgakılavuzunun üretimi ve karakterizasyonu

Abstract

Bu tez çalışmasında, yalıtkan üstü silikon (YÜS) tek kipli optik dalgakılavuzlarının tasarımı, üretimi ve karakterizasyonu gerçekleştirildi. Analitik ve nümerik yöntemler kullanarak YÜS dalgakılavuzu tasarlandı. Üretilecek dalgakılavuzu için uygun geometriler belirlendi ve tek kip elde edildi. Tasarım sonuçları göz önünde bulundurularak geleneksel optik litografik yöntemlerle tek kipli YÜS dalgakılavuzları üretildi. YÜS dalgakılavuzlarının optik giriş ve ilerleme kayıpları ticari cut-back metodu kullanılarak ölçüldü. YÜS dalgakılavuzunun optik giriş kaybı, TE ve TM polarizasyonlar için 4,9 dB olarak tespit edildi. Tek kipli YÜS dalgakılavuzunun optik ilerleme kayıpları, TE ve TM polarizasyonlar için sırasıyla 2,5 dB/mm ve 2,8 dB/mm olarak ölçüldü.

The design, fabrication and characterization of silicon on insulator (SOI) single mode optical waveguide is presented in this thesis. SOI waveguide were designed by using analytical and numerical methods. The convenient geometry was determined for SOI waveguide to be fabricated. Single mode for SOI waveguide was obtained. Based on the result of design, single mode SOI waveguide were fabricated by using conventional optical lithographic methods. The insertion and propagation losses of waveguide were measured by using conventional cut-back method. The insertion loss of SOI waveguide is 4.9 dB for TE and TM modes. The propagation losses of single mode SOI waveguide are 2.5 dB/mm and 2.8 dB/mm for TE and TM modes respectively.