Saydam iletken kaplamaların optik ve elektrik parametrelerinin üretim parametrelerine bağımlılığı ve optimizasyonu

Abstract

ÖZET Bu çalışmada, reaktif de magnetron sıçratma tekniği kullanılarak katkılı İTO (Indium tin oksit) ile kaplanan camın elektrik ve optik parametrelerinin, üretim parametrelerine bağlı etkilenişi incelenmiştir. Argon gazı debisi, oksijen gazı debisi, güç, geçiş hızı ve geçiş sayısı gibi üretim parametrelerinin değişik değerleri için, İTO kaplı (saydam iletken) camın gösterdiği optik geçirgenlik ve elektriksel iletkenlik değerlerinin, beklenildiği gibi birbirine göre ters yönde değiştiği gözlenmektedir. İletkenliğin artması, geçirgenliğin azalmasına neden olmaktadır. Bu iki parametre için optimum bir düzey sağlayan üretim parametrelerinin değerleri araştırılmıştır. Deneylerde argon gazı debisi, geçiş hızı ve geçiş sayısı için önceden belirlenen değerler kullanılmış, oksijen gazı debisi ve güç parametrelerinin değiştirilmesiyle yetinilmiştir. Bu iki parametredeki değişim sonunda camın geçirgenliği ve iletkenliği için % 78 ve 65 ohm/kare değerleri, optimal değerler olarak elde edilmiştir. Geçirgenlik için elde edilen değer yeterli olmakla birlikte, direnç için yeter bir değer sayılan 10 ohm/kare değerinin uzağında kalınmıştır. Geçirgenliğin daha yeterli bir değerini elde etmek için bu çalışmanın, değişik argon gazı debilerinde yinelenmesi gereklidir. III

SUMMARY That the electric and optic parameters of glass coated with ITO containing an additive are affected according to the parameters has been observed using the reactive dc magnetron sputtering technique in this study. For different values of process parameters like the flow of argon gas, the flow of oxygen gas, power, transition speed and transmission number, optic transmission and the electrical conductivity values shown by transparent conductor glass coated with ITO are seen to be changing in the opposite direction to each other as expected. The increase in conductivity causes the decrease in transmission. The values of process parameters that provide an optimum level for these two parameters have been searched. In experiments, the values determined in advance for the flow of argon gas, transition speed and transition number have been used and only the flow of oxygen gas and power parameters have been changed. At the end of the change in these two parameters, % 78 and 65 ohm per square values for transmission and conductivity of glass have been gotten as the optimal values. Though the value 10 ohm per square is considered a value sufficient for resistance. This study should be repeated in different flow of argon gas to get a more sufficient value of transmission. IV