AC ve DC püskürtme yöntemi ile üretilen alüminyum çinko oksit ince filmlerin karakterizasyonu ve birbiri ile karşılaştırılması

Abstract

Bu çalışmada, Alüminyum Çinko Okside İnce Filmler AC ve DC sputter sistemi kullanılarak üretilmiştir. Öncelikle hangi güç kaynağının AZO ince film üretmek için daha kullanışlı olduğu incelenmiştir. Bundan sonra bu güç kaynağı yardımıyla değişik güçler uygulanarak örnekler üretildi. Üretilen örnekleri yüzey yapısını incelemek için SEM, Optik karakterizasyonu için RAMAN spektroskopisi, katkıyla değişen iyon miktarlarını belirlemek için EDS, elektriksel karakterizasyonu için R-T ölçümleri ayrıca PL analizleri yapılmıştır.

In this study, Aluminum Zinc Oxide Thin Film swill was prepared by using AC and DC sputttering system. First of all, it was investigated that which power supply is useful for fabricated AZO thin film. After that, different samples were produced by aid of this power supply by using varied powers. SEM is used for investigation of surface structural; TEM for structural analysis at the atomic level; EDS for determination of changing ion quantities with contribution; R-T for electrical characterization, besides PL analysis were executed.