Fabrication and characterization of magnetic microresonators

Abstract

Si üzerine boyutları 1ila 100 µm arasında değişen mikro-çınlaçların üretimi için yekpare bir yöntem geliştirildi. Yapıların salınım karakteri (salınım sıklığı ve kalite faktörü) süreç değiştirgeleri ve aygıt boyutları düzeyinde çalışıldı ve kuramsal hesaplamalarla karşılaştırıldı. Kuramdan sapmalar tartışıldı. Algılayıcı uygulamaları için gürültünün indirgenmesi için istatistiksel yöntemleri de içeren duyarlık meseleleri tartışıldı. Organik ve inorganik moleküllerin çınlaçlar ile saptanması örnek çalışmalar olarak sunuldu.

Utilizing the micro and nanofabrication techniques, a monolithic process is developed to fabricate nickel microresonators on Si over a length scale of 1-100 µm. Resonance behavior (resonance frequency and quality factor) of the structures is studied as a function of process parameters and device dimensions and compared to theoretical calculations. Deviations from theory are discussed. Sensitivity issues for sensor applications are addressed including statistical techniques for noise reduction. Detection of organic and inorganic molecules with the resonators are presented as case studies.