Metal-yarıiletken/yarıizalatör kavşaklarındaki injeksiyon mekanizmalarının incelenmesi

Abstract

ÖZET Termik buharlaştırma yöntemiyle 10 5 torr vakum al tında alüminyum metal filmler elde edildi. Bu filmlerin üzerine anodik oksidasyon yöntemiyle Al. 2 O 3 yapısı kap landı ve metal oksit yapısının üzeri yine ayna vakum şartlarında alüminyum metal film ile kaplandı. Elde -A edilen numunenin dielektrik özellikleri 3x10 4 torr vakum altında sıcaklığa ve frekansa bağlı olarak ince lendi. Polarizasyonun sıcaklığa ve frekansa bağlılığı ince lenerek, özellikle alçak frekanslarda arttığı gözlendi ve bu yüzeyler arasıpolarizlenme mekanizmasına göre açıklandı.

SUMMARY Aluminium metal films have obtained under the 10 5 torr vacuum by using termal evaporation method. By the use of anodic oxidation technic an Al-O.3 layer has been coated on these films on which a Al-metal film cauted under the same conditions. The dielektrical properties of thus ob tained sample has been investigated as function of tem- - A parature and frequency under 3x10 4 torr vacuum. Dependence of the polarization upon temperature and frequency has been discussed and it has been observed that polarization increases at low frequences, this phe nomenon has been explained in terms of inter facial pola- rizability.