Sol-jel yöntemiyle indiyum kalay oksit (ITO) ince film üretimi

Abstract

SOL-JEL YÖNTEMİYLE İNDİYUM KALAY OKSİT (ITO) İNCE FİLM ÜRETİMİEsra PALALIÖZETSaydam iletken olan indiyum kalay oksit filmler elektro-optiksel davranışlarından dolayı çok ilgiçekmektedirler. ITO ince filmler, yüksek optiksel geçirgenliğe, kızılötesi yansıtıcılığa ve iyi elektrikseliletkenliğe sahiptirler. Bu özellikler ITO ince filmleri, elektrokromik camlar, gaz sensörleri, fotovoltaikcihazlar, ısı yansıtıcı aynalar ve saydam elektrotlar olarak kullanılmasına neden olmuştur. Saydam iletken ITOince filmler, püskürtme, reaktif çökertme, kimyasal buhar yolu ile çökertme ve sol-jel gibi çeşitli metotlarlahazırlanmıştır. Bu yöntemler arasında sol-jel yöntemi diğer metotlar ile karşılaştırıldığında her yüzeyerahatlıkla kaplama yapılabilir olmasından dolayı daha kullanışlıdır. Sol-jel yöntemiyle, cam altlık üstüneindium tin oxide (ITO) kaplanmıştır. ITO ince filmlerin elektriksel, optik ve yapısal özellikleri araştırılmıştır.1

PREPARATION OF INDIUM TIN OXIDE (ITO) THIN FILMS BY USING THE SOL-GELMETHODEsra PALALISUMMARYIndium tin oxide (ITO) films as transparent conductors have caused a great deal of interest due to theirprominent electro-optical behavior. ITO films have high luminous transmittance, high infraredreflectance and good electrical conductivity . Those properties have made ITO thin films applied aselectrochromic windows, gas sensors, photovoltaic devices, heat reflecting mirrors, and transparentelectrodes. Transparent conductive ITO films have been prepared by a variety of methods, such assputtering, reactive evaporation, chemical vapor deposition, and the sol-gel process. Among those, thesol-gel process is very useful for the films preparation due to coating on the desired shape andequipment when compared with other methods. Indium tin oxide (ITO) thin films have beendeposited onto glass substrates by sol-gel process. The electrical, optical and structural properties ofITO thin films have been investigated.