Browsing TEZLER by Author "Haciismailoğlu, Cüneyt"
Now showing items 1-1 of 1
-
Metal-oksit-yarıiletken (MOS) kapasitörlerin elektriksel özelliklerinin oksit tabakası kalınlığına bağlı değişimlerinin incelenmesi
Haciismailoğlu, Cüneyt (ULUDAĞ ÜNİVERSİTESİ/Fen Bilimleri Enstitüsü, 2018-08-06)iÖZETBu çalışmada kapasitör özelliği gösteren Metal-Oksit-Yarıiletken (MOS) yapılarile çalışılmıştır. Silisyum alt yüzeyler üzerinde çeşitli kalınlıklarda termal oksidasyon ileSiO2 tabakaları büyütüldükten sonra üst tarafı ...