Kimyasal banyo depolama yöntemiyle hazırlanmış ZrO2 ince filmlerin yapısal ve optiksel özelliklerinin incelenmesi

Abstract

Bu çalışmada, literatürde yer alan çalışmaların aksine, ZrO2 ince filmlerin cam alt tabanlara daha ekonomik, daha kolay ve düşük sıcaklıklarda kaplanması amaçlanmıştır. Bu amaçla kimyasal banyo depolama tekniği temel alınarak, çeşitli yöntemler denenerek optimize yöntem belirlenmeye çalışılmıştır. Cam alt tabakalara kaplanan ZrO2 ince filmlerin yapısal ve optiksel analizleri; X-ışını kırınım (XRD), UV-VIS spektrometresi ve taramalı elektron mikroskop (SEM) yöntemleriyle gerçekleştirilmiştir. Yapılan analiz sonuçları literatürde çeşitli yöntemlerle elde edilmiş ZrO2 kaplama sonuçlarıyla karşılaştırılmış ve yorumlanmıştır.

In this study, unlike the studies in the literatüre, ZrO2, thin films are intended to be coated the bottom floor of glass more economical, easier and at low temperatures. For this purpose, the chemical bath deposition technique by experimenting with various of metods based on optimized method were tried to the glass coated with ZrO2 thin films structural and optical analysis; the methods were carried out with X-ray diffraction, (XRD), UV-VIS spectrometry and scanner electron microscope (SEM). The results of this analysis were compared and interpreted with the results obtained in literatüre by various methods of coating with ZrO2.