Kalın bir taşıyıcı üzerindeki soğurucu ince filmlerin optik özelliklerinin belirlenmesi

Abstract

ÖZET Bu çalışmada iki katlı film sistemleri olan CuO/Au, CuO/Ag, In/Al ve Ag/Cu lara ait elipsometrik parametrelerden yararlanılarak, üst katman olarak yer alan filmlerin n kırılma indisleri, k sönüm katsayı ları ve d kalınlıkları yaptığımız bir komputür prog ramıyla hesaplanıp, n ve k değerlerinin kullanılan ışığın dalgaboyu ve film kalınlığıyla değişimleri incelendi. Isısal buharlaştırma yöntemiyle, önce alt ta şıyıcılar olan Ag, Al, Au ve Cu kalın filmler cam ü- z er in e hazırlanarak bunların üzerine yine aynı yön temle CuO, Ag ve in ince filmleri kaplandı. Kalın ör neklere ait elipsometrik parametrelerden elde edilen alt metal indisleri ve iki katlı film sistemine ait elipsometrik parametreler yardımıyla üst katman olan ince filmlere ait optik sabitler ve kalınlıklar BASIC programlama dilinde yazılan bir programla, iterasyon tekniği kullanılarak hesaplandı. Sonuçlar çizelge ve grafiklerle verildi.

II SUMMARY In this study, by using the experimental ellipso- metric parameters of CuO/Au, CuO/Ag, In/Al, Ag/Cu two layered film systems, the optical constants, n, k and d of the upper layer are calculated by a computer program we prepared and employed. The changing of n, k versus the wavelenght of light, and film thickness are investigated. Ag, Al, Au, Cu thick film samples have been condensed on glass substrates by the method of thermal evaporation and then CuO, Ag, and In thin films of different thicknesses have been covered on these thick layers by the same method. By using the optical constants of the thick underlying films, and ellipsometric para meters of the two layered systems n, k, and d of the thin upper layer have been calculated by an iteration technique written in BASIC language. The results have been presented in tables and graphics.