İyonla kaplama sistem dizaynı ve kurulan sistemde parametrelerin tesbiti

Abstract

-V- ÖZET Birçok uygulamalarda yüzey kaplama işlemleri, malzeme yüzeylerine daha iyi fiziksel ve kimyasal özellikler kazandırmak amacıyla ya pılmaktadır. Son yıllarda geliştirilen iyonla kaplama tekniği, di ğer tekniklerle elde edilemeyen kaplamalarda kullanılmaktadır. Bu çalışmada, iyonla kaplama sistemi dizayn edilerek, seçilen nu muneler üzerinde deneysel çalışmalar yapılmıştır. Birinci bölümde günümüze kadar yapılan çalışmalar özetlenmiş, ikinci bölümde işlem karakteristikleri ve gazlarda iyonizasyonun meydana gelişi, üçüncü bölümde de iyonla kaplama sistemleri tanıtılmıştır. Son Bö lümde ise kurulan deney sistemi ve deney sonuçları verilmiştir.

-VI- SUMMARY In many applications, surface coatings are used for better phy sical and chemical properties to improve the surface of materials. In recent years, ion plating has been used into many areas in which other coating processes have not been so successful. In the present study, Ion Plating System has been designed and experimental tests have been carried out on the selected samples. In the first chapter, previous studies were outlined. In the second and third chapter, operational characteristics and ionization of gases, and ion plating systems were described. In the last chapter design of experimental set up and experimental results were given.