Çinko oksit ince filmin pyroelektriklik özelliği üzerinde alt taş materyalin etkisi

Abstract

Bu çalışmada ZnO'nun çeşitli alt taşlar üzerinde büyütülmesi ile elde edilen ince filmlerin payroelektrik özellikleri incelenmiştir. Farklı alt taşlar üzerinde, ZnO ince filmlerinin kristalleşmesinin alt taş seçimine bağlılığı incelenmiştir. Kristalleşme ve yüzey morfolojisi XRD, AFM, optik geçirgenlik, soğurma ve SEM ölçümleri yardımı ile yapılmıştır. Çalışmanın sonunda Si, SiO2 ve gözenekli-Si alt taşlar üstüne Ni/ZnO/Ni yapısı oluşturularak ZnO'nun payroelektrik özellikleri araştırılmıştır. Elde edilen sonuçlarda ise tüm alt taşlar üzerine büyütülen ZnO ince filmlerinin payroelektrik özellik taşıdığı gözlemlenmiştir.

In this study we investigated pyroelectic properties of ZnO which is grown on different substrate materials. And we observed the changes in the ZnO thin film which are depend on substrate materials. These observations were done with the help of XRD, AFM, Reflectans, Absorbans and SEM. At the end of the our study we created Ni/ZnO/Ni complex on Si, SiO2 and Gözenekli-Si. Than we measured pyroelectric properties of these samples. According to the resulds it is investigated that all ZnO thin films have pyroelectric properties.