Alçak sıcaklıklarda geçiş elementleri saf metal ve alaşım filmlerin elektriksel direnci

Abstract

Ill ÖZET Electron-beam yöntemiyle ince film yapmaya uygun difüzyon pompalı bir vakum sistemine, tarafımızdan flash (ani) buharlaştırma tekniğine uygun bir buharlaştı rıcı dizayn edilerek bu sisteme monte edilmiştir. Geçiş metallerinden demir ve nikelin çeşitli konsantrasyonl ardaki alaşım filmleri bu teknikle hazırlanmıştır. Ayrıca flash ve electron-beam yöntemleri kullanılarak demir ve nikel saf metal filmler hazırlanmıştır. Filmlerin 77-300K sıcaklık aralığında elektriksel dirençleri dört nokta yöntemi kullanılarak ölçülmüştür, özdirencin sıcaklığa bağımlılığı incelenmiştir. Saf metal filmler için bu bağımlılık p = A+BT+CT2 şeklinde bulunmuştu. Alaşım filmler için özdirencin konsantrasyona bağımlılığı da incelenmiştir. x alaşım filmdeki atomik demir 2 konsantrasyonu olmak üzere bu değişim po +p1x-P2x2 şeklinde bulunmuştur. Alaşım filmlerin karekterizasyon tayini için X-ışınları çektirilmiştir. Elde edilen bulgular, yapılan alaşım film çalışmasının amorf film teorisiyle uyumlu olduğunu göstermiştir.

IV SUMMARY An evaporator which is appropriate to the flashing evaporation technique is designated and mounted to the vacuum system appropriate for the preparation of thin films by electron-beam technique. The alloy films at various concentrations of iron and nickel of the transition metals are prepared by this technique. Except that, pure iron and nickel metallic films are prepared by using flashing and electron-beam techniques. The electrical resistance of the obtained film are measured by the fout - probe technique between 77-300 K, and the relationship between the resistivity and temperature is searched. This relationship is p =A+BT for pure metallic films and p =A+BT+CT2 for alloy films. Separetely, the above mentioned that relationship is also searched for alloy films. This 2 relationship is obtained asP +p,x-p^x where x is the o ± *. atomic iron concentration in the alloy films. For the characterization of alloy films x-ray spectrums are taken. And according to the obtained results; a good correspondence is observed between the search made on the alloy films and amorphous film theory.