Search
Now showing items 1-1 of 1
PVD kaplama tekniği ile hazırlanan TiN ince filmlerin temel karakteristiklerinin incelenmesi
(2020-12-22)
PVD KAPLAMA TEKNİĞİYLE ELDE EDİLEN TİN İNCE FİLMLERDE TEMEL KARAKTERİSTİKLERİN İNCELENMESİ A. Uğur KAYA Anahtar Kelimeler: PVD, Bias Voltajı, Sertlik (Fischerscope), Ultrasonik Test, SEM Özet: Bu çalışmada, PVD (Physical ...