Low pressure glow discharge plasma diagnostics

Abstract

Tezde hava ve argon parlak (akkor) deşarj plazmalarının sınır gerilimi, plazma potansiyelive argon parlak deşarj plazmasının ışık emisyon spektroskopisi incelenmektedir.Deneylerde kullanılmak üzere yüksek DC gerilim kaynağı tasarlanmıştır. Yürütülendeneylerle, ilk olarak hava ve argonun Paschen gerilimi ölçümleri gösterilmiştir. Sonra, çiftprob kullanılarak hava ve argon için plazma potansiyeli ölçümleri yapılmıştır. Deneysonuçları literatürdeki referans sonuçlarla uyumludur. Son olarak, Baki spektrometrekullanılarak elde edilen argon plazmasının ışık emisyon tayfı incelenmiştir ve tepenoktalarının yeri yardımıyla argon plazmasında oluşan iyonlar bulunmuştur.

In this thesis, the breakdown voltage, plasma potential for air and argon glow dischargesand light emission spectroscopy for argon discharge are investigated. A DC high voltagesupply was designed to do the experiments. By conducting experiments, firstly, Paschenvoltages measurements for air and argon are shown. Secondly, by using the double probesthe plasma potential measurements for air and argon are performed. There is a goodagreement with the literature results. Finally, the emission spectrum of the argon plasma,taken by Baki spectrometer, is examined. Using the locations of the peaks, the ionsgenerated in the argon discharge are found.