Industrial applications of plasma systems

Abstract

Bu tezde magnetron sıçratıcı sistemin bazı uygulama alanları ele alınmıştır. Langmuir probu kullanılarak farklı basınçlarda ve katottan anoda doğru farklı mesafelerde electron sıcaklığı hesaplandı. Electron sıcaklığı hesaplanmasında optik emisyon spektroskopisinden de yararlanıldı. Multimetre kullanarak kaplanmış kumaşlarda direnç hesaplandı. Kaplanmış malzemeleri incelemek için taramalı elektron mikroskobu, elektron dağıtıcı spektroskopi ve atomik kuvvet mikroskopisinden yararlanıldı. Temas açısı ölçümü için gonyometre kullanıldı. Bu system vasıtasıyla aşındırmadan önce ve sonraki temas açıları ölçüldü. Buna ek olarak, kumaşların antibakteriyel özellikleri incelendi ve gümüşle kaplanan kumaşların bakırla kaplanana göre daha antibakteriyel olduğu gözlendi. Gümüş ve bakır kaplı kumaşların her ikisi de E. coli bakterisine S. aureus bakterisinden daha etkiliydi. Metallerin yansıtıcılığı da optik emisyon spektroskopisi aracılığıyla ölçüldü.

This thesis is concerned with some of the applications of magnetron sputtering system. Electron temperatures at different pressures and at different distances from cathode to anode were calculated by using Langmuir probe system. Optical emission spectroscopy was also used to calculate electron temperatures. The resistances on the deposited textiles were measured by using multimeter. Scanning electron microscopy, electron dispersive spectroscopy, and atomic force microscopy methods were used to investigate deposited materials; optical emission spectroscopy was used to investigate the reflectivity of the metals. Contact angle measurements were done by a goniometer. Contact angles before and after abrasion test were measured by the help of this system. Thus, wettability of the textiles was determined. In addition to this, antibacterial properties of the textiles were studied, and it was seen that silver coated textiles were more antibacterial than copper coated textiles. Both silver and copper coated textiles were more effective toward E. coli than S. aureus. Reflectivity of the metals were also studied by using optical emission spectroscopy.