TiO2 ince filmlerinin optik parametrelerinin tayini

Abstract

ÖZET Bu çalışmada Ti02 filmlerinin optik sabitleri incelen di. Bu filmler yüksek vakumda çıplak cam ve Ag kaplı cam ta şıyıcılar üzerine hazırlandı. Bu filmlerini ve 'Vp elipsometrik parametreleri, elip- sometre ile tayin edildi, ve spektrofotometre ile filmlerin geçirgenlikleri ölçüldü. Filmlerin kalınlıkları, kırılma indisleri ve söndürme indisleri, elipsometrik parametreler yardımıyla kompüter tekniği ile hesaplandı. Bu, kalınlık tayini için orijinal bir metottur. Film kalınlıkları 28 £-71 S arasındadır. Kırılma indisi 4.000 S dalga boyu civarında 3~4- ve 5700 S. dalga boyu civarında ise 6-7,5 değerlerini al dı. 5-000 S'lük dalga boyunda minimum gözlendi. Kırılma indisi ve söndürme indisinin dalga boyuna gö re değişimi verildi. Elipsometrik ölçümlerle spektrofotometrik ölçümler uyum sağladı.

SUMMARY In this study, optical constants of thin films of TiO~ have been investigated. These films were deposited on bare glass and Ag covered glass substrates in high vacuum. Ellipsometric parameters A. and `Vp of these films were determined by ellipsometer and also transmission of these films were measured by spectrophotometer. The thicknesses and refractive indices and extinction coefficients of these films were determined from ellipso metric parameters by computer technic. This is an original method to determine the thickness. The thickness of these films were between 28 £-71 &. Refractive index values were approximately 5-4- at 4.000 % on the other side 6-7,5 at 5700 % wavelength. It was minimum at 5«000 İÜ. The depence of the wavelength of refractive index and extinction coefficient had been given. Ellipsometric measuremeöt agreed `with the spectrophometidc values.