Fabrication and characterization of temperature sensors

Abstract

Sıcaklık en sık ölçülen çevresel değerdir. Çünkü fiziksel, elektronik, kimyasal, mekanik ve biyolojik sistemler sıcaklıktan etkilenir. Bu nedenle, sıcaklığı ölçmek ve kontrol altında yani belirli değerlerde tutmak önemlidir. Platin gibi son derece pahalı malzemeler kullanarak, üretilen sensörlerin istenen direnç değerine göre üretilmesi gerçekten zordur. Bu nedenle, litografi maskeleri üretilecek sıcaklık sensörlerin de önem kazanmaktadır. Özellikle platin sıcaklık sensörlerinin üretim aşamalarında kimyasal aşındırma oldukça zor olabilir; Bu nedenle, üretim aşamalarını kontrol etmek için akıllı maskeler tasarlamanız gerekir. Bu nedenle, bir maske hazırlarken, düzeltme adı verilen noktalar, ayarlamak istediğiniz direnci ayarlamayı kolaylaştıracaktır. Bu nedenle, Dirençler normalde istenilen direnç değerlerinden daha küçük değerlerde üretilir ve lazerle delikler keserek istenilen direnç değerine göre ayarlanır.

Temperature is the most frequently measured environmental value. Because physical,electronic, chemical, mechanical and biological systems are affected by temperature. For thisreason, it is important to measure the temperature and keep it at certain values in the controlsystems. Using highly expensive materials such as platinum, the sensors made are really difficultto produce according to the desired resistance value. Therefore, lithography masks prepared forthe temperature sensors to be produced gain importance. Especially, in the production stages ofplatinum temperature sensors, chemical etching can be quite difficult; Therefore, you need todesign smart masks to control production stages. Hence, when you prepare a mask, the pointscalled trimming will make it easier for you to adjust the resistance you want to set. So , Resistorsare normally fabricated to lower resistance value than needed trimmed by cutting holes in themwith lasers to increase their resistance value