Show simple item record

İnce filmlerin optik özelliklerinin elipsometrik yöntemle tayini

dc.contributor.advisorŞafak, Haluk
dc.contributor.authorÇelik, Gültekin
dc.date.accessioned2020-12-29T17:36:42Z
dc.date.available2020-12-29T17:36:42Z
dc.date.submitted2000
dc.date.issued2018-08-06
dc.identifier.urihttps://acikbilim.yok.gov.tr/handle/20.500.12812/467555
dc.description.abstractÖZET Yüksek Lisans Tezi İNCE FİLMLERİN OPTİK ÖZELLİKLERİNİN ELİPSOMETRİK YÖNTEMLE TAYİNİ Gültekin ÇELİK Selçuk Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fizik Anabilim Dalı Danışman: Yrd. Doç. Dr. Haluk ŞAFAK 2000, 67 Sayfa Jüri: Yrd. Doç. Dr. Haluk ŞAFAK Yrd. Doç. Dr. Ö.Famk YÜKSEL Yrd. Doç. Dr. Mehmet TAŞER Bu çalışmada, ince filmlerin optik özelliklerinin belirlenmesinde yaygın şekilde kullanılan spektroskopik elipsometre tekniği incelenmiştir. Mevcut imkanlar çerçevesinde bahsedilen deneysel düzenek tasarlanmış ve kurulmuştur. Bir monokromatör kullanılarak, görünür bölgedeki değişik dalgaboylan ve gelme açılan için ölçümler yapılmış, bulunan deneysel parametreler bilgisayar ortamında değerlendirilerek ince film selenyum yapının kırılma indisi ve sönüm katsayısı belirlenmiştir. Anahtar Kelimeler: Elipsometri, İnce film, Jones hesaplaması, Selenyum m
dc.description.abstractABSTRACT McS. Thesis DETERMINATION of OPTICAL PROPERTIES of THTN FILMS by ELLIPSOMETRY METHOD Gffltekin ÇELİK Selçuk University Graduate School of Natural and Applied Sciences Department of Physics Supervisor: Ass. Prof. Dr. Haluk ŞAFAK 2000, 67 Pages Jury: Ass. Prof. Dr. Haluk ŞAFAK Ass. Prof. Dr. Ö. Faruk YÜKSEL Ass. Prof. Dr. Mehmet TAŞER In this study, a spectroscopic ellipsometry setup used widely in determining the optical properties of thin films was designed and realised. By means of this setup, optical constants of Se thin films deposited onto a glass substrate were determined. The measurements were performed for different wavelengths in visible range and for various incidence angles by using a monochromator. The experimental data obtained were evaluated in a computer and the refractive index and extinction coefficient of Se thin film were calculated. Key Words: Ellipsometry, Thin Films, Jones Calculation, Selenium IVen_US
dc.languageTurkish
dc.language.isotr
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/embargoedAccess
dc.rightsAttribution 4.0 United Statestr_TR
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
dc.subjectFizik ve Fizik Mühendisliğitr_TR
dc.subjectPhysics and Physics Engineeringen_US
dc.titleİnce filmlerin optik özelliklerinin elipsometrik yöntemle tayini
dc.title.alternativeDetermination of optical properties of thin films by ellipsometry method
dc.typemasterThesis
dc.date.updated2018-08-06
dc.contributor.departmentFizik Anabilim Dalı
dc.subject.ytmEllipsometry
dc.subject.ytmSelenium
dc.subject.ytmThin films
dc.subject.ytmFilm
dc.identifier.yokid96264
dc.publisher.instituteFen Bilimleri Enstitüsü
dc.publisher.universitySELÇUK ÜNİVERSİTESİ
dc.identifier.thesisid96264
dc.description.pages67
dc.publisher.disciplineDiğer


Files in this item

Thumbnail
Name:
yokAcikBilim_96264.pdf
Size:
2.582Mb
Format:
PDF
Description:
File_96264
View/Open

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

info:eu-repo/semantics/embargoedAccess
Except where otherwise noted, this item's license is described as info:eu-repo/semantics/embargoedAccess