İnce filmlerin optik özelliklerinin elipsometrik yöntemle tayini

Abstract

ÖZET Yüksek Lisans Tezi İNCE FİLMLERİN OPTİK ÖZELLİKLERİNİN ELİPSOMETRİK YÖNTEMLE TAYİNİ Gültekin ÇELİK Selçuk Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fizik Anabilim Dalı Danışman: Yrd. Doç. Dr. Haluk ŞAFAK 2000, 67 Sayfa Jüri: Yrd. Doç. Dr. Haluk ŞAFAK Yrd. Doç. Dr. Ö.Famk YÜKSEL Yrd. Doç. Dr. Mehmet TAŞER Bu çalışmada, ince filmlerin optik özelliklerinin belirlenmesinde yaygın şekilde kullanılan spektroskopik elipsometre tekniği incelenmiştir. Mevcut imkanlar çerçevesinde bahsedilen deneysel düzenek tasarlanmış ve kurulmuştur. Bir monokromatör kullanılarak, görünür bölgedeki değişik dalgaboylan ve gelme açılan için ölçümler yapılmış, bulunan deneysel parametreler bilgisayar ortamında değerlendirilerek ince film selenyum yapının kırılma indisi ve sönüm katsayısı belirlenmiştir. Anahtar Kelimeler: Elipsometri, İnce film, Jones hesaplaması, Selenyum m

ABSTRACT McS. Thesis DETERMINATION of OPTICAL PROPERTIES of THTN FILMS by ELLIPSOMETRY METHOD Gffltekin ÇELİK Selçuk University Graduate School of Natural and Applied Sciences Department of Physics Supervisor: Ass. Prof. Dr. Haluk ŞAFAK 2000, 67 Pages Jury: Ass. Prof. Dr. Haluk ŞAFAK Ass. Prof. Dr. Ö. Faruk YÜKSEL Ass. Prof. Dr. Mehmet TAŞER In this study, a spectroscopic ellipsometry setup used widely in determining the optical properties of thin films was designed and realised. By means of this setup, optical constants of Se thin films deposited onto a glass substrate were determined. The measurements were performed for different wavelengths in visible range and for various incidence angles by using a monochromator. The experimental data obtained were evaluated in a computer and the refractive index and extinction coefficient of Se thin film were calculated. Key Words: Ellipsometry, Thin Films, Jones Calculation, Selenium IV