Search
Now showing items 1-1 of 1
Diferensiyel Fabry-Perot interferometresi ile nanometre-altı yer değiştirme ve nanoradyan açı ölçüm yöntemlerinin geliştirilmesi ve nanometroloji uygulamaları
(2018-08-06)
Yerdeğiştirme, doğruluk, çözünürlük ve konumlandırma kabiliyeti açısından nanometre-altı uzunluk metrolojisine artan bir talep bulunmaktadır. Metrolojik Fabry-Perot interferometreleri ultra küçük yerdeğiştirme ölçümleri ...