Fabrication and characterization of zinc oxide based surface acoustic wave devices
dc.contributor.advisor | Bıyıklı, Necmi | |
dc.contributor.author | Noyan, Mehmet Alican | |
dc.date.accessioned | 2020-12-02T12:35:41Z | |
dc.date.available | 2020-12-02T12:35:41Z | |
dc.date.submitted | 2013 | |
dc.date.issued | 2018-08-06 | |
dc.identifier.uri | https://acikbilim.yok.gov.tr/handle/20.500.12812/34766 | |
dc.description.abstract | Bugün bildiğimiz anlamda kullanılan yüzey akustik dalga (SAW) aygıtları, ilk olarak 1965?te tanıtıldı. Televizyon ve cep telefonu gibi tüketici ürünlerinde kullanılan band geçiren filtreler bu cihazların en yaygın kullanım alanıdır. SAW aygıtlar ayrıca kimyasal ve biyolojik algılayıcı olarak da kullanılabilir. SAW algılayıcı geliştirmenin arkasında yatan temel neden bu cihazların küçük boyutlu, yüksek hassasiyette ve dayanıklı olmalarıdır.Bu tez ZnO/Si yapısına dayalı SAW aygıtının geliştirilmesini ve nitelendirilmesini sunmaktadır. C-eksen yönelimli ZnO ince filmler, sıçratma yöntemi ile kaplanmıştır. Kaplama sonrasında uygulanan tavlamanın ZnO yapısına ve SAW aygıt başarımına etkisi detaylı bir şekilde incelenmiştir. 600C üzerindeki sıcaklıklarda tavlamanın SAW aygıtı olumsuz etkilediği tespit edilmiştir. ZnOin yüzey pürüzlülüğü tavlama sıcaklığı arttıkça artmaktadır. Kaynaklar, pürüzlülük artışını aygıtın tavlama sıcaklığı artışına dayalı bozunumunun nedenlerinden biri olarak vermektedir. Bu çalışma ise bozunumun yüzey pürüzlülüğünden kaynaklanmadığını göstermektedir. Tavlamanın aygıt başarımı üzerindeki etkisine ek olarak, ZnO/Si yapısının arasına SiO2 eklenmesinin ve ZnO kalınlığının da aygıt başarımına etkileri incelenmiştir. | |
dc.description.abstract | Surface acoustic wave (SAW) devices, as applied to today?s technology, were first described in 1965. Since then, these devices were applied to a wide variety of fields. Bandpass filter is their most common application, which is an important component in consumer products such as televisions and mobile phones. SAW devices can also be utilized as chemical and biological sensors. Driving force behind the development of SAW sensors is their small size, high sensitivity, reliability, and durability.This thesis presents the development and characterization of ZnO/Si based SAW devices. ZnO thin films with c-axis orientation were deposited using rf- magnetron sputtering. Effect of post deposition annealing on the structure of ZnO and on the SAW device performance was studied. It was found that annealing ZnO above 600C is detrimental for SAW device performance. Surface roughness of ZnO increases as the annealing temperature increases. In literature, roughness increase is presented as one of the reasons behind device breakdown. This work shows that roughness is not the primary cause for the breakdown. In addition, effect of SiO2 interlayer insertion between ZnO/Si structure on the device performance was examined together with the effect of ZnO thickness. | en_US |
dc.language | English | |
dc.language.iso | en | |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | |
dc.rights | Attribution 4.0 United States | tr_TR |
dc.rights.uri | https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ | |
dc.subject | Elektrik ve Elektronik Mühendisliği | tr_TR |
dc.subject | Electrical and Electronics Engineering | en_US |
dc.subject | Fizik ve Fizik Mühendisliği | tr_TR |
dc.subject | Physics and Physics Engineering | en_US |
dc.subject | Mühendislik Bilimleri | tr_TR |
dc.subject | Engineering Sciences | en_US |
dc.title | Fabrication and characterization of zinc oxide based surface acoustic wave devices | |
dc.title.alternative | Çinko oksit temelli yüzey akustik dalga aygıtlarının geliştirilmesi ve nitelendirilmesi | |
dc.type | masterThesis | |
dc.date.updated | 2018-08-06 | |
dc.contributor.department | Malzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Anabilim Dalı | |
dc.identifier.yokid | 10014011 | |
dc.publisher.institute | Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü | |
dc.publisher.university | İHSAN DOĞRAMACI BİLKENT ÜNİVERSİTESİ | |
dc.identifier.thesisid | 335617 | |
dc.description.pages | 106 | |
dc.publisher.discipline | Diğer |