Browsing TEZLER by Author "Odabaşi, Emrah"
Now showing items 1-1 of 1
-
Silikon nitrat (Si3N4) filmlerin plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD) yöntemi ile üretimi ve optik karakterizasyonu
Odabaşi, Emrah (GAZİ ÜNİVERSİTESİ/Fen Bilimleri Enstitüsü, 2018-08-06)Bu tez çalışmasında, silikon nitrat (Si3N4) ince filmler, NH3/SiH4 akış oranı değiştirilerek silikon alttaş üzerine Plazma Destekli Buhar Depolama (PECVD) yöntemi ile üretildi ve optik karakterizasyonu yapıldı. Si3N4 ince ...